ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸ: ਇਹ ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਦਾ "ਸੁਨਹਿਰੀ ਸਾਥੀ" ਕਿਉਂ ਹੈ?

ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ, ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਇੱਕ ਮੁੱਖ ਯੰਤਰ ਹੈ ਜੋ ਚਿਪਸ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨੂੰ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸ, ਆਪਣੀਆਂ ਕਈ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੇ ਨਾਲ, ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਦਾ ਇੱਕ ਲਾਜ਼ਮੀ ਹਿੱਸਾ ਬਣ ਗਿਆ ਹੈ।

ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ: ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਦੇ ਵਿਰੁੱਧ "ਢਾਲ"
ਜਦੋਂ ਇੱਕ ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਕੰਮ ਕਰ ਰਹੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਇਹ ਵੱਡੀ ਮਾਤਰਾ ਵਿੱਚ ਗਰਮੀ ਪੈਦਾ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਸਿਰਫ਼ 0.1℃ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਵੀ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਹਿੱਸਿਆਂ ਦੇ ਵਿਗਾੜ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣ ਸਕਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਦੇ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਦਾ ਗੁਣਾਂਕ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਹੈ, ਸਿਰਫ 4-8 ×10⁻⁶/℃, ਜੋ ਕਿ ਸਟੀਲ ਦੇ ਲਗਭਗ 1/3 ਅਤੇ ਐਲੂਮੀਨੀਅਮ ਮਿਸ਼ਰਤ ਦੇ 1/5 ਹੈ। ਇਹ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਅਧਾਰ ਨੂੰ ਅਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣ ਦੇ ਯੋਗ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ ਜਦੋਂ ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਲਈ ਕੰਮ ਕਰਦੀ ਹੈ ਜਾਂ ਜਦੋਂ ਵਾਤਾਵਰਣ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ ਬਦਲਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਆਪਟੀਕਲ ਹਿੱਸਿਆਂ ਅਤੇ ਮਕੈਨੀਕਲ ਢਾਂਚਿਆਂ ਦੀ ਸਹੀ ਸਥਿਤੀ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।

ਸੁਪਰ ਐਂਟੀ-ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ: "ਸਪੰਜ" ਜੋ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਨੂੰ ਸੋਖ ਲੈਂਦਾ ਹੈ
ਇੱਕ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਫੈਕਟਰੀ ਵਿੱਚ, ਆਲੇ ਦੁਆਲੇ ਦੇ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦਾ ਸੰਚਾਲਨ ਅਤੇ ਲੋਕਾਂ ਦੀ ਆਵਾਜਾਈ ਸਾਰੇ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਪੈਦਾ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ। ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਘਣਤਾ ਅਤੇ ਇੱਕ ਸਖ਼ਤ ਬਣਤਰ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਡੈਂਪਿੰਗ ਗੁਣ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਜਿਸਦਾ ਡੈਂਪਿੰਗ ਅਨੁਪਾਤ ਧਾਤਾਂ ਨਾਲੋਂ 2 ਤੋਂ 5 ਗੁਣਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਜਦੋਂ ਬਾਹਰੀ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨਾਂ ਨੂੰ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸ ਵਿੱਚ ਸੰਚਾਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਅੰਦਰੂਨੀ ਖਣਿਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲਾਂ ਵਿਚਕਾਰ ਰਗੜ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਊਰਜਾ ਨੂੰ ਡਿਸਸੀਪੇਸ਼ਨ ਲਈ ਗਰਮੀ ਊਰਜਾ ਵਿੱਚ ਬਦਲ ਦਿੰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਥੋੜ੍ਹੇ ਸਮੇਂ ਵਿੱਚ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਨੂੰ ਕਾਫ਼ੀ ਘਟਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਤੇਜ਼ੀ ਨਾਲ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਬਹਾਲ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਕਾਰਨ ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਪੈਟਰਨ ਦੇ ਧੁੰਦਲੇਪਣ ਜਾਂ ਗਲਤ ਅਲਾਈਨਮੈਂਟ ਤੋਂ ਬਚ ਸਕਦੀ ਹੈ।

ਰਸਾਇਣਕ ਸਥਿਰਤਾ: ਇੱਕ ਸਾਫ਼ ਵਾਤਾਵਰਣ ਦਾ "ਰੱਖਿਅਕ"
ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਦਾ ਅੰਦਰੂਨੀ ਹਿੱਸਾ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਰਸਾਇਣਕ ਮਾਧਿਅਮਾਂ ਦੇ ਸੰਪਰਕ ਵਿੱਚ ਆਉਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਆਮ ਧਾਤ ਦੀਆਂ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਖੋਰ ਜਾਂ ਕਣਾਂ ਦੇ ਛੱਡਣ ਲਈ ਸੰਭਾਵਿਤ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ। ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਅਤੇ ਫੇਲਡਸਪਾਰ ਵਰਗੇ ਖਣਿਜਾਂ ਤੋਂ ਬਣਿਆ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਵਿੱਚ ਸਥਿਰ ਰਸਾਇਣਕ ਗੁਣ ਅਤੇ ਮਜ਼ਬੂਤ ​​ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਐਸਿਡ ਅਤੇ ਖਾਰੀ ਘੋਲ ਵਿੱਚ ਭਿੱਜਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਸਤਹ ਦੀ ਖੋਰ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਇਸ ਦੌਰਾਨ, ਇਸਦੀ ਸੰਘਣੀ ਬਣਤਰ ਲਗਭਗ ਕੋਈ ਮਲਬਾ ਜਾਂ ਧੂੜ ਪੈਦਾ ਨਹੀਂ ਕਰਦੀ, ਜੋ ਕਿ ਸਭ ਤੋਂ ਉੱਚੇ ਕਲੀਨਰੂਮ ਮਿਆਰਾਂ ਦੀਆਂ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਗੰਦਗੀ ਦੇ ਜੋਖਮ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦੀ ਹੈ।

ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਅਨੁਕੂਲਤਾ: ਸਟੀਕ ਮਾਪਦੰਡ ਬਣਾਉਣ ਲਈ "ਆਦਰਸ਼ ਸਮੱਗਰੀ"
ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਦੇ ਮੁੱਖ ਹਿੱਸਿਆਂ ਨੂੰ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਸੰਦਰਭ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਸਥਾਪਿਤ ਕਰਨ ਦੀ ਜ਼ਰੂਰਤ ਹੈ। ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਦੀ ਅੰਦਰੂਨੀ ਬਣਤਰ ਇਕਸਾਰ ਹੈ ਅਤੇ ਇਸਨੂੰ ਪੀਸਣ, ਪਾਲਿਸ਼ ਕਰਨ ਅਤੇ ਹੋਰ ਤਕਨੀਕਾਂ ਦੁਆਰਾ ਬਹੁਤ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਤੱਕ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਕਰਨਾ ਆਸਾਨ ਹੈ। ਇਸਦੀ ਸਮਤਲਤਾ ≤0.5μm/m ਤੱਕ ਪਹੁੰਚ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਸਤਹ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ Ra ≤0.05μm ਹੈ, ਜੋ ਆਪਟੀਕਲ ਲੈਂਸ ਵਰਗੇ ਹਿੱਸਿਆਂ ਲਈ ਇੱਕ ਸਟੀਕ ਇੰਸਟਾਲੇਸ਼ਨ ਆਧਾਰ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ।

ਲੰਬੀ ਉਮਰ ਅਤੇ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ-ਮੁਕਤ: ਲਾਗਤ ਘਟਾਉਣ ਲਈ "ਤਿੱਖੇ ਔਜ਼ਾਰ"
ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਦੌਰਾਨ ਥਕਾਵਟ ਅਤੇ ਫਟਣ ਦਾ ਖ਼ਤਰਾ ਹੋਣ ਵਾਲੀਆਂ ਧਾਤ ਦੀਆਂ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਦੀ ਤੁਲਨਾ ਵਿੱਚ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਆਮ ਭਾਰ ਹੇਠ ਪਲਾਸਟਿਕ ਦੇ ਵਿਗਾੜ ਜਾਂ ਫ੍ਰੈਕਚਰ ਤੋਂ ਮੁਸ਼ਕਿਲ ਨਾਲ ਗੁਜ਼ਰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸਨੂੰ ਸਤ੍ਹਾ ਦੇ ਇਲਾਜ ਦੀ ਲੋੜ ਨਹੀਂ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ ਕੋਟਿੰਗ ਦੇ ਛਿੱਲਣ ਅਤੇ ਗੰਦਗੀ ਦੇ ਜੋਖਮ ਤੋਂ ਬਚਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਵਿਹਾਰਕ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਵਿੱਚ, ਕਈ ਸਾਲਾਂ ਤੱਕ ਵਰਤੇ ਜਾਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸ ਦੇ ਮੁੱਖ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਸੂਚਕ ਅਜੇ ਵੀ ਸਥਿਰ ਰਹਿ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਸੰਚਾਲਨ ਅਤੇ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਦੀ ਲਾਗਤ ਘਟਦੀ ਹੈ।

ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ, ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਤੋਂ ਲੈ ਕੇ ਰਸਾਇਣਕ ਜੜਤਾ ਤੱਕ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸ ਦੀਆਂ ਕਈ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਦੀਆਂ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਪੂਰਾ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ। ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਚਿੱਪ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵੱਲ ਵਿਕਸਤ ਹੁੰਦੀ ਰਹਿੰਦੀ ਹੈ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਦੇ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਅਟੱਲ ਭੂਮਿਕਾ ਨਿਭਾਉਂਦੇ ਰਹਿਣਗੇ।