ਸਾਫ਼ ਕਮਰਿਆਂ ਲਈ ਸਮਰਪਿਤ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ: ਜ਼ੀਰੋ ਮੈਟਲ ਆਇਨ ਰੀਲੀਜ਼, ਵੇਫਰ ਨਿਰੀਖਣ ਉਪਕਰਣਾਂ ਲਈ ਆਦਰਸ਼ ਵਿਕਲਪ।

ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਵੇਫਰ ਨਿਰੀਖਣ ਦੇ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ, ਕਲੀਨਰੂਮ ਵਾਤਾਵਰਣ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਉਪਜ ਨਾਲ ਸਬੰਧਤ ਹੈ। ਜਿਵੇਂ-ਜਿਵੇਂ ਚਿੱਪ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਹੁੰਦਾ ਜਾ ਰਿਹਾ ਹੈ, ਖੋਜ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਚੁੱਕਣ ਵਾਲੇ ਪਲੇਟਫਾਰਮਾਂ ਲਈ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਹੋਰ ਵੀ ਸਖ਼ਤ ਹੁੰਦੀਆਂ ਜਾ ਰਹੀਆਂ ਹਨ। ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ, ਜ਼ੀਰੋ ਮੈਟਲ ਆਇਨ ਰੀਲੀਜ਼ ਅਤੇ ਘੱਟ ਕਣ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਣ ਦੀਆਂ ਆਪਣੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੇ ਨਾਲ, ਰਵਾਇਤੀ ਸਟੇਨਲੈਸ ਸਟੀਲ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਨੂੰ ਪਛਾੜ ਗਏ ਹਨ ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਨਿਰੀਖਣ ਉਪਕਰਣਾਂ ਲਈ ਪਸੰਦੀਦਾ ਹੱਲ ਬਣ ਗਏ ਹਨ।

ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਇੱਕ ਕੁਦਰਤੀ ਅਗਨੀਯ ਚੱਟਾਨ ਹੈ ਜੋ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਕੁਆਰਟਜ਼, ਫੇਲਡਸਪਾਰ ਅਤੇ ਮੀਕਾ ਵਰਗੇ ਗੈਰ-ਧਾਤੂ ਖਣਿਜਾਂ ਤੋਂ ਬਣੀ ਹੈ। ਇਹ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾ ਇਸਨੂੰ ਜ਼ੀਰੋ ਧਾਤ ਆਇਨ ਰੀਲੀਜ਼ ਦਾ ਫਾਇਦਾ ਦਿੰਦੀ ਹੈ। ਇਸਦੇ ਉਲਟ, ਸਟੇਨਲੈਸ ਸਟੀਲ, ਲੋਹੇ, ਕ੍ਰੋਮੀਅਮ ਅਤੇ ਨਿੱਕਲ ਵਰਗੀਆਂ ਧਾਤਾਂ ਦੇ ਮਿਸ਼ਰਤ ਧਾਤ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ, ਇੱਕ ਸਾਫ਼ ਕਮਰੇ ਦੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਪਾਣੀ ਦੀ ਭਾਫ਼ ਅਤੇ ਤੇਜ਼ਾਬੀ ਜਾਂ ਖਾਰੀ ਗੈਸਾਂ ਦੇ ਖੋਰੇ ਕਾਰਨ ਆਪਣੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਕੈਮੀਕਲ ਖੋਰ ਦਾ ਸ਼ਿਕਾਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ Fe²⁺ ਅਤੇ Cr³⁺ ਵਰਗੇ ਧਾਤ ਆਇਨਾਂ ਦਾ ਵਰਖਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਇੱਕ ਵਾਰ ਜਦੋਂ ਇਹ ਛੋਟੇ ਆਇਨ ਵੇਫਰ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਨਾਲ ਜੁੜ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਤਾਂ ਉਹ ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਅਤੇ ਐਚਿੰਗ ਵਰਗੀਆਂ ਅਗਲੀਆਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਬਿਜਲੀ ਗੁਣਾਂ ਨੂੰ ਬਦਲ ਦੇਣਗੇ, ਟਰਾਂਜ਼ਿਸਟਰ ਦੇ ਥ੍ਰੈਸ਼ਹੋਲਡ ਵੋਲਟੇਜ ਡ੍ਰਿਫਟ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਸਰਕਟ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਰਟ ਸਰਕਟਾਂ ਦਾ ਕਾਰਨ ਵੀ ਬਣਦੇ ਹਨ। ਪੇਸ਼ੇਵਰ ਸੰਸਥਾ ਟੈਸਟ ਡੇਟਾ ਦਰਸਾਉਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਨੂੰ 1000 ਘੰਟਿਆਂ ਲਈ ਇੱਕ ਸਿਮੂਲੇਟਡ ਸਾਫ਼ ਕਮਰੇ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ ਅਤੇ ਨਮੀ ਵਾਲੇ ਵਾਤਾਵਰਣ (23±0.5℃, 45%±5% RH) ਦੇ ਲਗਾਤਾਰ ਸੰਪਰਕ ਵਿੱਚ ਆਉਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਧਾਤ ਆਇਨਾਂ ਦੀ ਰਿਹਾਈ ਖੋਜ ਸੀਮਾ (< 0.1ppb) ਤੋਂ ਘੱਟ ਸੀ। ਸਟੇਨਲੈੱਸ ਸਟੀਲ ਪਲੇਟਫਾਰਮਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਸਮੇਂ ਧਾਤ ਦੇ ਆਇਨ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਣ ਕਾਰਨ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਨੁਕਸ ਦਰ 15% ਤੋਂ 20% ਤੱਕ ਵੱਧ ਹੋ ਸਕਦੀ ਹੈ।

ਕਣਾਂ ਦੀ ਗੰਦਗੀ ਨਿਯੰਤਰਣ ਦੇ ਮਾਮਲੇ ਵਿੱਚ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਵੀ ਬਹੁਤ ਵਧੀਆ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਸਾਫ਼-ਸੁਥਰੇ ਕਮਰਿਆਂ ਵਿੱਚ ਹਵਾ ਵਿੱਚ ਮੁਅੱਤਲ ਕਣਾਂ ਦੀ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਲਈ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਲੋੜਾਂ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ। ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ISO ਕਲਾਸ 1 ਸਾਫ਼-ਸੁਥਰੇ ਕਮਰਿਆਂ ਵਿੱਚ, ਪ੍ਰਤੀ ਘਣ ਮੀਟਰ 0.1μm ਕਣਾਂ ਦੀ ਆਗਿਆ 10 ਤੋਂ ਵੱਧ ਨਹੀਂ ਹੁੰਦੀ। ਭਾਵੇਂ ਸਟੇਨਲੈਸ ਸਟੀਲ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ ਟ੍ਰੀਟਮੈਂਟ ਤੋਂ ਗੁਜ਼ਰਿਆ ਹੋਵੇ, ਇਹ ਅਜੇ ਵੀ ਉਪਕਰਣ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਅਤੇ ਕਰਮਚਾਰੀਆਂ ਦੇ ਸੰਚਾਲਨ ਵਰਗੀਆਂ ਬਾਹਰੀ ਤਾਕਤਾਂ ਦੇ ਕਾਰਨ ਧਾਤ ਦਾ ਮਲਬਾ ਜਾਂ ਆਕਸਾਈਡ ਸਕੇਲ ਛਿੱਲ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਖੋਜ ਆਪਟੀਕਲ ਮਾਰਗ ਵਿੱਚ ਵਿਘਨ ਪਾ ਸਕਦਾ ਹੈ ਜਾਂ ਵੇਫਰ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਨੂੰ ਖੁਰਚ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ, ਆਪਣੀ ਸੰਘਣੀ ਖਣਿਜ ਬਣਤਰ (ਘਣਤਾ ≥2.7g/cm³) ਅਤੇ ਉੱਚ ਕਠੋਰਤਾ (ਮੋਹਸ ਸਕੇਲ 'ਤੇ 6-7) ਦੇ ਨਾਲ, ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਦੌਰਾਨ ਪਹਿਨਣ ਜਾਂ ਟੁੱਟਣ ਦੀ ਸੰਭਾਵਨਾ ਨਹੀਂ ਰੱਖਦੇ। ਮਾਪੇ ਗਏ ਮਾਪ ਦਰਸਾਉਂਦੇ ਹਨ ਕਿ ਉਹ ਸਾਫ਼-ਸੁਥਰੇ ਗ੍ਰੇਡ ਮਿਆਰਾਂ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਬਣਾਈ ਰੱਖਦੇ ਹੋਏ, ਖੋਜ ਉਪਕਰਣ ਖੇਤਰ ਦੀ ਹਵਾ ਵਿੱਚ ਮੁਅੱਤਲ ਕਣਾਂ ਦੀ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਨੂੰ ਸਟੇਨਲੈਸ ਸਟੀਲ ਪਲੇਟਫਾਰਮਾਂ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ 40% ਤੋਂ ਵੱਧ ਘਟਾ ਸਕਦੇ ਹਨ।

ਇਸਦੀਆਂ ਸਾਫ਼ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮਾਂ ਦੀ ਵਿਆਪਕ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਸਟੇਨਲੈਸ ਸਟੀਲ ਨਾਲੋਂ ਕਿਤੇ ਵੱਧ ਹੈ। ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਦੇ ਮਾਮਲੇ ਵਿੱਚ, ਇਸਦਾ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਗੁਣਾਂਕ ਸਿਰਫ (4-8) ×10⁻⁶/℃ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਸਟੇਨਲੈਸ ਸਟੀਲ (ਲਗਭਗ 17×10⁻⁶/℃) ਦੇ ਅੱਧੇ ਤੋਂ ਵੀ ਘੱਟ ਹੈ, ਜੋ ਸਾਫ਼ ਕਮਰੇ ਵਿੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਆਉਣ 'ਤੇ ਖੋਜ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਸਥਿਤੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਢੰਗ ਨਾਲ ਬਣਾਈ ਰੱਖ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਉੱਚ ਡੈਂਪਿੰਗ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾ (ਡੈਂਪਿੰਗ ਅਨੁਪਾਤ > 0.05) ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਨੂੰ ਤੇਜ਼ੀ ਨਾਲ ਘਟਾ ਸਕਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਖੋਜ ਜਾਂਚ ਨੂੰ ਹਿੱਲਣ ਤੋਂ ਰੋਕ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਇਸਦਾ ਕੁਦਰਤੀ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਇਸਨੂੰ ਵਾਧੂ ਕੋਟਿੰਗ ਸੁਰੱਖਿਆ ਦੀ ਲੋੜ ਤੋਂ ਬਿਨਾਂ ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਸੌਲਵੈਂਟਸ, ਐਚਿੰਗ ਗੈਸਾਂ ਅਤੇ ਹੋਰ ਰਸਾਇਣਾਂ ਦੇ ਸੰਪਰਕ ਵਿੱਚ ਆਉਣ 'ਤੇ ਵੀ ਸਥਿਰ ਰਹਿਣ ਦੇ ਯੋਗ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।

ਵਰਤਮਾਨ ਵਿੱਚ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮਾਂ ਨੂੰ ਉੱਨਤ ਵੇਫਰ ਨਿਰਮਾਣ ਪਲਾਂਟਾਂ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਡੇਟਾ ਦਰਸਾਉਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਨੂੰ ਅਪਣਾਉਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਵੇਫਰ ਸਤਹ ਕਣ ਖੋਜ ਦੀ ਗਲਤਫਹਿਮੀ ਦਰ 60% ਘੱਟ ਗਈ ਹੈ, ਉਪਕਰਣ ਕੈਲੀਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਚੱਕਰ ਨੂੰ ਤਿੰਨ ਗੁਣਾ ਵਧਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ, ਅਤੇ ਸਮੁੱਚੀ ਉਤਪਾਦਨ ਲਾਗਤ 25% ਘੱਟ ਗਈ ਹੈ। ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵੱਲ ਵਧਦਾ ਹੈ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ, ਜ਼ੀਰੋ ਮੈਟਲ ਆਇਨ ਰੀਲੀਜ਼ ਅਤੇ ਘੱਟ ਕਣ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਣ ਵਰਗੇ ਆਪਣੇ ਮੁੱਖ ਫਾਇਦਿਆਂ ਦੇ ਨਾਲ, ਵੇਫਰ ਨਿਰੀਖਣ ਲਈ ਸਥਿਰ ਅਤੇ ਭਰੋਸੇਮੰਦ ਸਹਾਇਤਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਨਾ ਜਾਰੀ ਰੱਖਣਗੇ, ਉਦਯੋਗ ਦੀ ਤਰੱਕੀ ਨੂੰ ਚਲਾਉਣ ਵਾਲੀ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਸ਼ਕਤੀ ਬਣ ਜਾਣਗੇ।