ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੀ ਜਾਂਚ ਕਿਵੇਂ ਕਰੀਏ? ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਓ ਕਿ ਕੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਮਿਆਰੀ ਹੈ?

ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਅਤੇ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਮਾਪਣ ਵਾਲੇ ਯੰਤਰਾਂ ਵਰਗੇ ਖੇਤਰਾਂ ਵਿੱਚ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪਲੇਟਫਾਰਮਾਂ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਸੰਚਾਲਨ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨੂੰ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਕਿ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਮਿਆਰਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਦੋ ਪਹਿਲੂਆਂ ਤੋਂ ਕੋਸ਼ਿਸ਼ਾਂ ਕੀਤੀਆਂ ਜਾਣੀਆਂ ਚਾਹੀਦੀਆਂ ਹਨ: ਮੁੱਖ ਸੂਚਕਾਂ ਦਾ ਪਤਾ ਲਗਾਉਣਾ ਅਤੇ ਮਿਆਰੀ ਨਿਯਮਾਂ ਦੀ ਪਾਲਣਾ।

ਕੋਰ ਸੂਚਕ ਖੋਜ: ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦਾ ਬਹੁ-ਆਯਾਮੀ ਨਿਯੰਤਰਣ
ਸਮਤਲਤਾ ਦਾ ਪਤਾ ਲਗਾਉਣਾ: ਸੰਦਰਭ ਸਮਤਲ ਦੀ "ਸਮਤਲਤਾ" ਦਾ ਪਤਾ ਲਗਾਉਣਾ
ਸਮਤਲਤਾ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪਲੇਟਫਾਰਮਾਂ ਦਾ ਮੁੱਖ ਸੂਚਕ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸਨੂੰ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਲੇਜ਼ਰ ਇੰਟਰਫੇਰੋਮੀਟਰਾਂ ਜਾਂ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਪੱਧਰਾਂ ਦੁਆਰਾ ਮਾਪਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਲੇਜ਼ਰ ਇੰਟਰਫੇਰੋਮੀਟਰ ਇੱਕ ਲੇਜ਼ਰ ਬੀਮ ਛੱਡ ਕੇ ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ ਦਖਲਅੰਦਾਜ਼ੀ ਦੇ ਸਿਧਾਂਤ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਕੇ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਛੋਟੇ-ਛੋਟੇ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਨੂੰ ਸਹੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਮਾਪ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਜਿਸਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਉਪ-ਮਾਈਕ੍ਰੋਨ ਪੱਧਰ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਦੀ ਹੈ। ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਪੱਧਰ ਕਈ ਵਾਰ ਹਿੱਲ ਕੇ ਮਾਪਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਸਤ੍ਹਾ ਦਾ ਤਿੰਨ-ਅਯਾਮੀ ਕੰਟੋਰ ਨਕਸ਼ਾ ਖਿੱਚਦਾ ਹੈ ਤਾਂ ਜੋ ਪਤਾ ਲਗਾਇਆ ਜਾ ਸਕੇ ਕਿ ਕੀ ਕੋਈ ਸਥਾਨਕ ਪ੍ਰੋਟ੍ਰੂਸ਼ਨ ਜਾਂ ਡਿਪਰੈਸ਼ਨ ਹਨ। ਉਦਾਹਰਣ ਵਜੋਂ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤੇ ਜਾਣ ਵਾਲੇ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮਾਂ ਦੀ ਸਮਤਲਤਾ ±0.5μm/m ਹੋਣੀ ਚਾਹੀਦੀ ਹੈ, ਜਿਸਦਾ ਮਤਲਬ ਹੈ ਕਿ 1-ਮੀਟਰ ਲੰਬਾਈ ਦੇ ਅੰਦਰ ਉਚਾਈ ਦਾ ਅੰਤਰ ਅੱਧੇ ਮਾਈਕ੍ਰੋਮੀਟਰ ਤੋਂ ਵੱਧ ਨਹੀਂ ਹੋਣਾ ਚਾਹੀਦਾ। ਸਿਰਫ਼ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਖੋਜ ਉਪਕਰਣਾਂ ਰਾਹੀਂ ਹੀ ਇਸ ਸਖ਼ਤ ਮਿਆਰ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਇਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
2. ਸਿੱਧੀ ਪਛਾਣ: ਰੇਖਿਕ ਗਤੀ ਦੀ "ਸਿੱਧੀ" ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਓ
ਉਹਨਾਂ ਪਲੇਟਫਾਰਮਾਂ ਲਈ ਜੋ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨਾਲ ਚੱਲਣ ਵਾਲੇ ਹਿੱਸਿਆਂ ਨੂੰ ਲੈ ਕੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਸਿੱਧੀ ਹੋਣਾ ਬਹੁਤ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ। ਖੋਜ ਲਈ ਆਮ ਤਰੀਕੇ ਤਾਰ ਵਿਧੀ ਜਾਂ ਲੇਜ਼ਰ ਕੋਲੀਮੇਟਰ ਹਨ। ਤਾਰ ਵਿਧੀ ਵਿੱਚ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਸਟੀਲ ਤਾਰਾਂ ਨੂੰ ਮੁਅੱਤਲ ਕਰਨਾ ਅਤੇ ਸਿੱਧੀਤਾ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਨ ਲਈ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਸਤਹ ਅਤੇ ਸਟੀਲ ਤਾਰਾਂ ਵਿਚਕਾਰ ਪਾੜੇ ਦੀ ਤੁਲਨਾ ਕਰਨਾ ਸ਼ਾਮਲ ਹੈ। ਲੇਜ਼ਰ ਕੋਲੀਮੇਟਰ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਗਾਈਡ ਰੇਲ ਦੀ ਸਥਾਪਨਾ ਸਤਹ ਦੀ ਰੇਖਿਕ ਗਲਤੀ ਦਾ ਪਤਾ ਲਗਾਉਣ ਲਈ ਲੇਜ਼ਰ ਦੀਆਂ ਰੇਖਿਕ ਪ੍ਰਸਾਰ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਜੇਕਰ ਸਿੱਧੀਤਾ ਮਿਆਰ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਨਹੀਂ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਇਹ ਗਤੀ ਦੌਰਾਨ ਉਪਕਰਣਾਂ ਨੂੰ ਬਦਲਣ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣੇਗੀ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਜਾਂ ਮਾਪ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਹੋਵੇਗੀ।
3. ਸਤ੍ਹਾ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ ਪਛਾਣ: ਸੰਪਰਕ ਦੀ "ਬਰੀਕਤਾ" ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਓ।
ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਇੰਸਟਾਲੇਸ਼ਨ ਦੇ ਫਿੱਟ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਖੋਜ ਲਈ ਇੱਕ ਸਟਾਈਲਸ ਰਫਨੈੱਸ ਮੀਟਰ ਜਾਂ ਇੱਕ ਆਪਟੀਕਲ ਮਾਈਕ੍ਰੋਸਕੋਪ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਸਟਾਈਲਸ ਕਿਸਮ ਦਾ ਯੰਤਰ ਇੱਕ ਬਰੀਕ ਪ੍ਰੋਬ ਨਾਲ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਸਤ੍ਹਾ ਨਾਲ ਸੰਪਰਕ ਕਰਕੇ ਮਾਈਕ੍ਰੋਸਕੋਪਿਕ ਪ੍ਰੋਫਾਈਲ ਦੀ ਉਚਾਈ ਵਿੱਚ ਬਦਲਾਅ ਨੂੰ ਰਿਕਾਰਡ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਆਪਟੀਕਲ ਮਾਈਕ੍ਰੋਸਕੋਪ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਤ੍ਹਾ ਦੀ ਬਣਤਰ ਦਾ ਨਿਰੀਖਣ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ। ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਵਿੱਚ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮਾਂ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ ਨੂੰ Ra≤0.05μm 'ਤੇ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰਨ ਦੀ ਜ਼ਰੂਰਤ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਇੱਕ ਸ਼ੀਸ਼ੇ ਵਰਗੇ ਪ੍ਰਭਾਵ ਦੇ ਬਰਾਬਰ ਹੈ, ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਹਿੱਸੇ ਇੰਸਟਾਲੇਸ਼ਨ ਦੌਰਾਨ ਕੱਸ ਕੇ ਫਿੱਟ ਹੋਣ ਅਤੇ ਪਾੜੇ ਕਾਰਨ ਹੋਣ ਵਾਲੇ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਜਾਂ ਵਿਸਥਾਪਨ ਤੋਂ ਬਚਦੇ ਹਨ।
ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਮਾਪਦੰਡ ਇਸ ਪ੍ਰਕਾਰ ਹਨ: ਅੰਤਰਰਾਸ਼ਟਰੀ ਨਿਯਮ ਅਤੇ ਉੱਦਮ ਦਾ ਅੰਦਰੂਨੀ ਨਿਯੰਤਰਣ
ਵਰਤਮਾਨ ਵਿੱਚ, ਅੰਤਰਰਾਸ਼ਟਰੀ ਪੱਧਰ 'ਤੇ, ISO 25178 ਅਤੇ GB/T 24632 ਮਿਆਰ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮਾਂ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਨ ਲਈ ਆਧਾਰ ਵਜੋਂ ਵਰਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਸਮਤਲਤਾ ਅਤੇ ਸਿੱਧੀਤਾ ਵਰਗੇ ਸੂਚਕਾਂ ਲਈ ਸਪੱਸ਼ਟ ਵਰਗੀਕਰਨ ਹਨ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਉੱਚ-ਅੰਤ ਦੇ ਨਿਰਮਾਣ ਉੱਦਮ ਅਕਸਰ ਵਧੇਰੇ ਸਖ਼ਤ ਅੰਦਰੂਨੀ ਨਿਯੰਤਰਣ ਮਾਪਦੰਡ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਉਦਾਹਰਣ ਵਜੋਂ, ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਦੇ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਲਈ ਸਮਤਲਤਾ ਦੀ ਲੋੜ ਅੰਤਰਰਾਸ਼ਟਰੀ ਮਿਆਰ ਨਾਲੋਂ 30% ਵੱਧ ਹੈ। ਟੈਸਟ ਕਰਦੇ ਸਮੇਂ, ਮਾਪੇ ਗਏ ਡੇਟਾ ਦੀ ਤੁਲਨਾ ਸੰਬੰਧਿਤ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਨਾਲ ਕੀਤੀ ਜਾਣੀ ਚਾਹੀਦੀ ਹੈ। ਸਿਰਫ਼ ਉਹ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਜੋ ਮਿਆਰਾਂ ਦੀ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਪਾਲਣਾ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਉਪਕਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਸਥਿਰ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾ ਸਕਦੇ ਹਨ।
ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪਲੇਟਫਾਰਮਾਂ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦਾ ਨਿਰੀਖਣ ਕਰਨਾ ਇੱਕ ਯੋਜਨਾਬੱਧ ਪ੍ਰੋਜੈਕਟ ਹੈ। ਸਿਰਫ਼ ਸਮਤਲਤਾ, ਸਿੱਧੀਤਾ, ਅਤੇ ਸਤਹ ਖੁਰਦਰੀ ਵਰਗੇ ਮੁੱਖ ਸੂਚਕਾਂ ਦੀ ਸਖਤੀ ਨਾਲ ਜਾਂਚ ਕਰਕੇ, ਅਤੇ ਅੰਤਰਰਾਸ਼ਟਰੀ ਅਤੇ ਉੱਦਮ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਦੀ ਪਾਲਣਾ ਕਰਕੇ, ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਦੀ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਭਰੋਸੇਯੋਗਤਾ ਦੀ ਗਰੰਟੀ ਦਿੱਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰਾਂ ਅਤੇ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਯੰਤਰਾਂ ਵਰਗੇ ਉੱਚ-ਅੰਤ ਦੇ ਨਿਰਮਾਣ ਖੇਤਰਾਂ ਲਈ ਇੱਕ ਠੋਸ ਨੀਂਹ ਰੱਖਦੀ ਹੈ।