ਲੀਨੀਅਰ ਮੋਟਰ + ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸ: ਨਵੀਂ ਪੀੜ੍ਹੀ ਦੇ ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਸਿਸਟਮ ਦਾ ਮੁੱਖ ਰਾਜ਼।

ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਦੀ ਸਟੀਕ ਲੜੀ ਵਿੱਚ, ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਸਿਸਟਮ "ਚਿੱਪ ਉਤਪਾਦਨ ਲਾਈਨ ਦੀ ਜੀਵਨ ਰੇਖਾ" ਵਾਂਗ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਸਦੀ ਸਥਿਰਤਾ ਅਤੇ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਚਿਪਸ ਦੀ ਉਪਜ ਦਰ ਨੂੰ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਸਿਸਟਮ ਦੀ ਨਵੀਂ ਪੀੜ੍ਹੀ ਕ੍ਰਾਂਤੀਕਾਰੀ ਤੌਰ 'ਤੇ ਲੀਨੀਅਰ ਮੋਟਰਾਂ ਨੂੰ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸਾਂ ਨਾਲ ਜੋੜਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਵਿਲੱਖਣ ਫਾਇਦੇ ਉੱਚ-ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਟ੍ਰਾਂਸਮਿਸ਼ਨ ਨੂੰ ਅਨਲੌਕ ਕਰਨ ਲਈ ਬਿਲਕੁਲ ਮੁੱਖ ਕੋਡ ਹਨ।

​
ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸ: ਸਥਿਰ ਪ੍ਰਸਾਰਣ ਲਈ "ਚਟਾਨ-ਠੋਸ ਨੀਂਹ" ਬਣਾਉਣਾ
ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ, ਜਿਸਨੇ ਲੱਖਾਂ ਸਾਲਾਂ ਤੋਂ ਭੂ-ਵਿਗਿਆਨਕ ਸੁਧਾਰ ਕੀਤਾ ਹੈ, ਵਿੱਚ ਸੰਘਣਾ ਅਤੇ ਇਕਸਾਰ ਅੰਦਰੂਨੀ ਖਣਿਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਹੈ। ਇਹ ਕੁਦਰਤੀ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾ ਇਸਨੂੰ ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਲਈ ਇੱਕ ਆਦਰਸ਼ ਅਧਾਰ ਸਮੱਗਰੀ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ। ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਕਲੀਨਰੂਮਾਂ ਦੇ ਗੁੰਝਲਦਾਰ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ, ਇਸਦੇ ਅਤਿ-ਘੱਟ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਗੁਣਾਂਕ (ਸਿਰਫ 5-7 ×10⁻⁶/℃) ਦੇ ਨਾਲ, ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਸੰਚਾਲਨ ਦੌਰਾਨ ਪੈਦਾ ਹੋਣ ਵਾਲੀ ਗਰਮੀ ਅਤੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਦੇ ਪ੍ਰਭਾਵ ਦਾ ਵਿਰੋਧ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਅਧਾਰ ਦੇ ਆਕਾਰ ਦੀ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਵਿਗਾੜ ਕਾਰਨ ਹੋਣ ਵਾਲੇ ਪ੍ਰਸਾਰਣ ਮਾਰਗ ਭਟਕਣ ਤੋਂ ਬਚਦਾ ਹੈ। ਇਸਦੀ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਡੈਂਪਿੰਗ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਲੀਨੀਅਰ ਮੋਟਰਾਂ ਦੇ ਸਟਾਰਟ-ਅੱਪ, ਬੰਦ ਹੋਣ ਅਤੇ ਪ੍ਰਵੇਗ ਦੌਰਾਨ ਪੈਦਾ ਹੋਣ ਵਾਲੀਆਂ ਮਕੈਨੀਕਲ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨਾਂ ਨੂੰ ਤੇਜ਼ੀ ਨਾਲ ਸੋਖ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਨਾਲ ਹੀ ਵਰਕਸ਼ਾਪ ਵਿੱਚ ਹੋਰ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਸੰਚਾਲਨ ਦੁਆਰਾ ਲਿਆਂਦੀਆਂ ਗਈਆਂ ਬਾਹਰੀ ਦਖਲਅੰਦਾਜ਼ੀਆਂ ਨੂੰ ਵੀ, ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਮਿਸ਼ਨ ਲਈ "ਜ਼ੀਰੋ ਸ਼ੇਕ" ਦੇ ਨਾਲ ਇੱਕ ਸਥਿਰ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ।
ਇਸ ਦੌਰਾਨ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਦੀ ਰਸਾਇਣਕ ਸਥਿਰਤਾ ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ ਕਿ ਇਹ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਵਰਕਸ਼ਾਪਾਂ ਵਿੱਚ ਜੰਗਾਲ ਜਾਂ ਜੰਗਾਲ ਨਾ ਲੱਗੇ ਜਿੱਥੇ ਐਸਿਡ ਅਤੇ ਅਲਕਲੀ ਰੀਐਜੈਂਟ ਅਸਥਿਰ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਉੱਚ ਸਫਾਈ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਉਮਰ ਜਾਂ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਕ ਸੋਸ਼ਣ ਕਾਰਨ ਪ੍ਰਸਾਰਣ ਸ਼ੁੱਧਤਾ 'ਤੇ ਪ੍ਰਭਾਵ ਤੋਂ ਬਚਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਨਿਰਵਿਘਨ ਅਤੇ ਸੰਘਣੀ ਸਤਹ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਧੂੜ ਦੇ ਚਿਪਕਣ ਨੂੰ ਵਧੇਰੇ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਘਟਾ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ, ਸਾਫ਼ ਕਮਰਿਆਂ ਦੇ ਸਖ਼ਤ ਧੂੜ-ਮੁਕਤ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ ਅਤੇ ਜੜ੍ਹ ਤੋਂ ਵੇਫਰ ਗੰਦਗੀ ਦੇ ਜੋਖਮ ਨੂੰ ਖਤਮ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ।
ਰੇਖਿਕ ਮੋਟਰਾਂ ਅਤੇ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਦਾ "ਸੁਨਹਿਰੀ ਭਾਈਵਾਲੀ" ਪ੍ਰਭਾਵ
ਲੀਨੀਅਰ ਮੋਟਰਾਂ, ਬਿਨਾਂ ਮਕੈਨੀਕਲ ਟ੍ਰਾਂਸਮਿਸ਼ਨ ਕਲੀਅਰੈਂਸ, ਉੱਚ ਪ੍ਰਵੇਗ ਅਤੇ ਉੱਚ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਗਤੀ ਦੀਆਂ ਆਪਣੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੇ ਨਾਲ, ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਮਿਸ਼ਨ ਨੂੰ "ਤੇਜ਼, ਸਹੀ ਅਤੇ ਸਥਿਰ" ਦੇ ਫਾਇਦਿਆਂ ਨਾਲ ਨਿਵਾਜਦੀਆਂ ਹਨ। ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸ ਇਸਦੇ ਲਈ ਇੱਕ ਠੋਸ ਅਤੇ ਭਰੋਸੇਮੰਦ ਸਹਾਇਤਾ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਦੋਵੇਂ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਛਾਲ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ ਇਕੱਠੇ ਕੰਮ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਜਦੋਂ ਲੀਨੀਅਰ ਮੋਟਰ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸ ਟ੍ਰੈਕ 'ਤੇ ਚੱਲਣ ਲਈ ਵੇਫਰ ਕੈਰੀਅਰ ਨੂੰ ਚਲਾਉਂਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਬੇਸ ਦੀ ਮਜ਼ਬੂਤ ਕਠੋਰਤਾ ਅਤੇ ਸਥਿਰਤਾ ਮੋਟਰ ਡ੍ਰਾਈਵਿੰਗ ਫੋਰਸ ਦੇ ਕੁਸ਼ਲ ਟ੍ਰਾਂਸਮਿਸ਼ਨ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ, ਬੇਸ ਵਿਗਾੜ ਕਾਰਨ ਹੋਣ ਵਾਲੇ ਬਲ ਦੇ ਨੁਕਸਾਨ ਜਾਂ ਟ੍ਰਾਂਸਮਿਸ਼ਨ ਲੈਗ ਤੋਂ ਬਚਦੀ ਹੈ।
ਨੈਨੋਸਕੇਲ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੀ ਮੰਗ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰੇਰਿਤ, ਲੀਨੀਅਰ ਮੋਟਰਾਂ ਉਪ-ਮਾਈਕ੍ਰੋਨ-ਪੱਧਰ ਦੇ ਵਿਸਥਾਪਨ ਨਿਯੰਤਰਣ ਨੂੰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ। ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸਾਂ ਦੀਆਂ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ (±1μm ਦੇ ਅੰਦਰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਸਮਤਲਤਾ ਗਲਤੀਆਂ ਦੇ ਨਾਲ) ਲੀਨੀਅਰ ਮੋਟਰਾਂ ਦੇ ਸਟੀਕ ਨਿਯੰਤਰਣ ਨਾਲ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਮੇਲ ਖਾਂਦੀਆਂ ਹਨ, ਸਾਂਝੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੀਆਂ ਹਨ ਕਿ ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਮਿਸ਼ਨ ਦੌਰਾਨ ਸਥਿਤੀ ਗਲਤੀ ±5μm ਤੋਂ ਘੱਟ ਹੈ। ਭਾਵੇਂ ਇਹ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਉਪਕਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਹਾਈ-ਸਪੀਡ ਸ਼ਟਲਿੰਗ ਹੋਵੇ ਜਾਂ ਵੇਫਰ ਹੈਂਡਓਵਰ ਲਈ ਸਟੀਕ ਪਾਰਕਿੰਗ ਹੋਵੇ, ਲੀਨੀਅਰ ਮੋਟਰਾਂ ਅਤੇ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸਾਂ ਦਾ ਸੁਮੇਲ ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਮਿਸ਼ਨ ਵਿੱਚ "ਜ਼ੀਰੋ ਡਿਵੀਏਸ਼ਨ ਅਤੇ ਜ਼ੀਰੋ ਜਿਟਰ" ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
ਉਦਯੋਗ ਅਭਿਆਸ ਤਸਦੀਕ: ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਅਤੇ ਉਪਜ ਦਰ ਵਿੱਚ ਦੋਹਰਾ ਸੁਧਾਰ
ਆਪਣੇ ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਸਿਸਟਮ ਨੂੰ ਅਪਗ੍ਰੇਡ ਕਰਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਇੱਕ ਪ੍ਰਮੁੱਖ ਗਲੋਬਲ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਐਂਟਰਪ੍ਰਾਈਜ਼ ਨੇ ਇੱਕ ਲੀਨੀਅਰ ਮੋਟਰ + ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸ ਸਲਿਊਸ਼ਨ ਅਪਣਾਇਆ, ਜਿਸ ਨੇ ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਿੱਚ 40% ਵਾਧਾ ਕੀਤਾ, ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ ਟੱਕਰ ਅਤੇ ਆਫਸੈੱਟ ਵਰਗੇ ਨੁਕਸ ਦੀ ਮੌਜੂਦਗੀ ਦਰ ਨੂੰ 85% ਘਟਾ ਦਿੱਤਾ, ਅਤੇ ਚਿਪਸ ਦੀ ਸਮੁੱਚੀ ਉਪਜ ਦਰ ਵਿੱਚ 6% ਸੁਧਾਰ ਕੀਤਾ। ਡੇਟਾ ਦੇ ਪਿੱਛੇ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕੀਤੀ ਗਈ ਟ੍ਰਾਂਸਮਿਸ਼ਨ ਸਥਿਰਤਾ ਦੀ ਗਰੰਟੀ ਅਤੇ ਲੀਨੀਅਰ ਮੋਟਰ ਦੇ ਉੱਚ-ਗਤੀ ਅਤੇ ਸਟੀਕ ਸਹਿਯੋਗੀ ਪ੍ਰਭਾਵ ਹੈ, ਜੋ ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਮਿਸ਼ਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਨੁਕਸਾਨ ਅਤੇ ਗਲਤੀ ਨੂੰ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਤੌਰ 'ਤੇ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ।
ਸਮੱਗਰੀ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਤੋਂ ਲੈ ਕੇ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨਿਰਮਾਣ ਤੱਕ, ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਫਾਇਦਿਆਂ ਤੋਂ ਲੈ ਕੇ ਵਿਹਾਰਕ ਤਸਦੀਕ ਤੱਕ, ਲੀਨੀਅਰ ਮੋਟਰਾਂ ਅਤੇ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸਾਂ ਦੇ ਸੁਮੇਲ ਨੇ ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਦੇ ਮਿਆਰਾਂ ਨੂੰ ਮੁੜ ਪਰਿਭਾਸ਼ਿਤ ਕੀਤਾ ਹੈ। ਭਵਿੱਖ ਵਿੱਚ ਜਦੋਂ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਤਕਨਾਲੋਜੀ 3nm ਅਤੇ 2nm ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵੱਲ ਵਧਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਸਮੱਗਰੀ ਨਿਸ਼ਚਤ ਤੌਰ 'ਤੇ ਆਪਣੇ ਅਟੱਲ ਫਾਇਦਿਆਂ ਨਾਲ ਉਦਯੋਗ ਦੇ ਵਿਕਾਸ ਵਿੱਚ ਮਜ਼ਬੂਤ ਪ੍ਰੇਰਣਾ ਦਿੰਦੀ ਰਹੇਗੀ।