ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਮੀਟਰਿੰਗ ਉਪਕਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮਾਂ ਦੀ ਮਾਪੀ ਗਈ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ।

​
ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਦੇ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ, ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਉਤਪਾਦ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਅਤੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਦੀ ਜੀਵਨ ਰੇਖਾ ਹੈ। ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਮੀਟਰਿੰਗ ਉਪਕਰਣ, ਉਤਪਾਦਨ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਇੱਕ ਮੁੱਖ ਕੜੀ ਵਜੋਂ, ਇਸਦੇ ਮੁੱਖ ਹਿੱਸਿਆਂ ਦੀ ਸਥਿਰਤਾ 'ਤੇ ਲਗਭਗ ਸਖ਼ਤ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਲਾਗੂ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਉਨ੍ਹਾਂ ਵਿੱਚੋਂ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ, ਆਪਣੀ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਦੇ ਨਾਲ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਮੀਟਰਿੰਗ ਉਪਕਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਲਾਜ਼ਮੀ ਭੂਮਿਕਾ ਨਿਭਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਲੇਖ ਅਸਲ ਟੈਸਟ ਡੇਟਾ ਦੁਆਰਾ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਮੀਟਰਿੰਗ ਉਪਕਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮਾਂ ਦੇ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਦਾ ਡੂੰਘਾਈ ਨਾਲ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਕਰੇਗਾ।
ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ ਮਾਪਣ ਵਾਲੇ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਲਈ ਸਖ਼ਤ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ
ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਬਹੁਤ ਗੁੰਝਲਦਾਰ ਅਤੇ ਸਟੀਕ ਹੈ, ਅਤੇ ਚਿੱਪ 'ਤੇ ਸਰਕਟ ਲਾਈਨਾਂ ਦੀ ਚੌੜਾਈ ਨੈਨੋਮੀਟਰ ਪੱਧਰ 'ਤੇ ਪਹੁੰਚ ਗਈ ਹੈ। ਇੰਨੀ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ ਥੋੜ੍ਹੀ ਜਿਹੀ ਤਬਦੀਲੀ ਵੀ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਹਿੱਸਿਆਂ ਦੇ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਅਤੇ ਸੁੰਗੜਨ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਮਾਪ ਗਲਤੀਆਂ ਹੋ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ। ਉਦਾਹਰਣ ਵਜੋਂ, ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਜੇਕਰ ਮੀਟਰਿੰਗ ਉਪਕਰਣ ਦੀ ਮਾਪ ਸ਼ੁੱਧਤਾ 1 ਨੈਨੋਮੀਟਰ ਤੋਂ ਭਟਕ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਤਾਂ ਇਹ ਚਿੱਪ 'ਤੇ ਸਰਕਟਾਂ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਰਟ ਸਰਕਟ ਜਾਂ ਓਪਨ ਸਰਕਟ ਵਰਗੀਆਂ ਗੰਭੀਰ ਸਮੱਸਿਆਵਾਂ ਪੈਦਾ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਚਿੱਪ ਸਕ੍ਰੈਪ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਉਦਯੋਗ ਡੇਟਾ ਅੰਕੜਿਆਂ ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ, ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ ਹਰ 1℃ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਲਈ, ਰਵਾਇਤੀ ਧਾਤ ਸਮੱਗਰੀ ਮੀਟਰਿੰਗ ਉਪਕਰਣ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਕਈ ਨੈਨੋਮੀਟਰਾਂ ਦੇ ਆਯਾਮੀ ਬਦਲਾਅ ਵਿੱਚੋਂ ਗੁਜ਼ਰ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਹਾਲਾਂਕਿ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਲਈ ਮਾਪ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨੂੰ ±0.1 ਨੈਨੋਮੀਟਰ ਦੇ ਅੰਦਰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਇਹ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਨ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮੁੱਖ ਕਾਰਕ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਮੀਟਰਿੰਗ ਉਪਕਰਣ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਦੀਆਂ ਮੰਗਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ ਜਾਂ ਨਹੀਂ।

ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮਾਂ ਦੀ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਦੇ ਸਿਧਾਂਤਕ ਫਾਇਦੇ
ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ, ਇੱਕ ਕਿਸਮ ਦੇ ਕੁਦਰਤੀ ਪੱਥਰ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ, ਇੱਕ ਸੰਖੇਪ ਅੰਦਰੂਨੀ ਖਣਿਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ, ਇੱਕ ਸੰਘਣੀ ਅਤੇ ਇਕਸਾਰ ਬਣਤਰ ਰੱਖਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਦਾ ਕੁਦਰਤੀ ਫਾਇਦਾ ਰੱਖਦਾ ਹੈ। ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਦੇ ਗੁਣਾਂਕ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਦੇ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਦਾ ਗੁਣਾਂਕ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ 4.5 ਤੋਂ 6.5×10⁻⁶/K ਤੱਕ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਇਸਦੇ ਉਲਟ, ਐਲੂਮੀਨੀਅਮ ਮਿਸ਼ਰਤ ਵਰਗੇ ਆਮ ਧਾਤੂ ਪਦਾਰਥਾਂ ਦੇ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਦਾ ਗੁਣਾਂਕ 23.8×10⁻⁶/K ਜਿੰਨਾ ਉੱਚਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਨਾਲੋਂ ਕਈ ਗੁਣਾ ਜ਼ਿਆਦਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਇਸਦਾ ਮਤਲਬ ਹੈ ਕਿ ਇੱਕੋ ਤਾਪਮਾਨ ਪਰਿਵਰਤਨ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਦੇ ਤਹਿਤ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਦਾ ਆਯਾਮੀ ਪਰਿਵਰਤਨ ਧਾਤ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਨਾਲੋਂ ਬਹੁਤ ਛੋਟਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਮੀਟਰਿੰਗ ਉਪਕਰਣਾਂ ਲਈ ਵਧੇਰੇ ਸਥਿਰ ਮਾਪ ਸੰਦਰਭ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ।
ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਦੀ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਬਣਤਰ ਇਸਨੂੰ ਗਰਮੀ ਸੰਚਾਲਨ ਦੀ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਇਕਸਾਰਤਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਜਦੋਂ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦਾ ਸੰਚਾਲਨ ਗਰਮੀ ਪੈਦਾ ਕਰਦਾ ਹੈ ਜਾਂ ਵਾਤਾਵਰਣ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ ਬਦਲਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਗਰਮੀ ਨੂੰ ਤੇਜ਼ੀ ਨਾਲ ਅਤੇ ਸਮਾਨ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਦੂਰ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਸਥਾਨਕ ਓਵਰਹੀਟਿੰਗ ਜਾਂ ਓਵਰਕੂਲਿੰਗ ਵਰਤਾਰੇ ਤੋਂ ਬਚਦਾ ਹੈ, ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਦੀ ਸਮੁੱਚੀ ਤਾਪਮਾਨ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਬਣਾਈ ਰੱਖਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਮਾਪ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੀ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਹੋਰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਮਾਪਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅਤੇ ਵਿਧੀ
ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਮੀਟਰਿੰਗ ਉਪਕਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਦੀ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਦਾ ਸਹੀ ਮੁਲਾਂਕਣ ਕਰਨ ਲਈ, ਅਸੀਂ ਇੱਕ ਸਖ਼ਤ ਮਾਪ ਯੋਜਨਾ ਤਿਆਰ ਕੀਤੀ ਹੈ। ਇੱਕ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਵੇਫਰ ਮਾਪਣ ਵਾਲੇ ਯੰਤਰ ਦੀ ਚੋਣ ਕਰੋ, ਜੋ ਇੱਕ ਸੁਪਰ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪ੍ਰੋਸੈਸਡ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਨਾਲ ਲੈਸ ਹੈ। ਪ੍ਰਯੋਗਾਤਮਕ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਵਰਕਸ਼ਾਪ ਵਿੱਚ ਆਮ ਤਾਪਮਾਨ ਪਰਿਵਰਤਨ ਰੇਂਜ ਨੂੰ ਸਿਮੂਲੇਟ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ, ਯਾਨੀ ਕਿ, ਹੌਲੀ-ਹੌਲੀ 20℃ ਤੋਂ 35℃ ਤੱਕ ਗਰਮ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਫਿਰ 20℃ ਤੱਕ ਵਾਪਸ ਠੰਢਾ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਪੂਰੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ 8 ਘੰਟੇ ਤੱਕ ਚੱਲੀ।
ਮਾਪਣ ਵਾਲੇ ਯੰਤਰ ਦੇ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ 'ਤੇ, ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਮਿਆਰੀ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਰੱਖੇ ਗਏ ਹਨ, ਅਤੇ ਨੈਨੋਸਕੇਲ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਵਿਸਥਾਪਨ ਸੈਂਸਰਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਅਤੇ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਵਿਚਕਾਰ ਅਸਲ ਸਮੇਂ ਵਿੱਚ ਸਾਪੇਖਿਕ ਸਥਿਤੀ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰਨ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਇਸ ਦੌਰਾਨ, ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਤਾਪਮਾਨ ਵੰਡ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰਨ ਲਈ ਪਲੇਟਫਾਰਮ 'ਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਸਥਿਤੀਆਂ 'ਤੇ ਕਈ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਤਾਪਮਾਨ ਸੈਂਸਰਾਂ ਦਾ ਪ੍ਰਬੰਧ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ। ਪ੍ਰਯੋਗ ਦੌਰਾਨ, ਡੇਟਾ ਦੀ ਸੰਪੂਰਨਤਾ ਅਤੇ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਹਰ 15 ਮਿੰਟਾਂ ਵਿੱਚ ਵਿਸਥਾਪਨ ਡੇਟਾ ਅਤੇ ਤਾਪਮਾਨ ਡੇਟਾ ਰਿਕਾਰਡ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ।
ਮਾਪਿਆ ਗਿਆ ਡੇਟਾ ਅਤੇ ਨਤੀਜਾ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ
ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਅਤੇ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਦੇ ਆਕਾਰ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਵਿਚਕਾਰ ਸਬੰਧ
ਪ੍ਰਯੋਗਾਤਮਕ ਡੇਟਾ ਦਰਸਾਉਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਜਦੋਂ ਤਾਪਮਾਨ 20℃ ਤੋਂ 35℃ ਤੱਕ ਵਧਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਦੇ ਰੇਖਿਕ ਆਕਾਰ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਗਣਨਾ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਪੂਰੀ ਹੀਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ, ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਦਾ ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਰੇਖਿਕ ਵਿਸਥਾਰ ਸਿਰਫ 0.3 ਨੈਨੋਮੀਟਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਮਾਪ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਲਈ ਗਲਤੀ ਸਹਿਣਸ਼ੀਲਤਾ ਸੀਮਾ ਤੋਂ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਹੈ। ਕੂਲਿੰਗ ਪੜਾਅ ਦੇ ਦੌਰਾਨ, ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਦਾ ਆਕਾਰ ਲਗਭਗ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਸ਼ੁਰੂਆਤੀ ਸਥਿਤੀ ਵਿੱਚ ਵਾਪਸ ਆ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਆਕਾਰ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀ ਦੇ ਪਛੜਨ ਦੇ ਵਰਤਾਰੇ ਨੂੰ ਨਜ਼ਰਅੰਦਾਜ਼ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਤਾਪਮਾਨ ਦੇ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਦੇ ਅਧੀਨ ਵੀ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਅਯਾਮੀ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣ ਦੀ ਇਹ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਦੀ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਪ੍ਰਮਾਣਿਤ ਕਰਦੀ ਹੈ।
ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਤਾਪਮਾਨ ਇਕਸਾਰਤਾ ਦਾ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ
ਤਾਪਮਾਨ ਸੈਂਸਰ ਦੁਆਰਾ ਇਕੱਤਰ ਕੀਤੇ ਗਏ ਡੇਟਾ ਤੋਂ ਪਤਾ ਚੱਲਦਾ ਹੈ ਕਿ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਸੰਚਾਲਨ ਅਤੇ ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਤਾਪਮਾਨ ਵੰਡ ਬਹੁਤ ਹੀ ਇਕਸਾਰ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਉਸ ਪੜਾਅ ਦੌਰਾਨ ਵੀ ਜਦੋਂ ਤਾਪਮਾਨ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਧ ਤੀਬਰਤਾ ਨਾਲ ਬਦਲਦਾ ਹੈ, ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਹਰੇਕ ਮਾਪ ਬਿੰਦੂ ਵਿਚਕਾਰ ਤਾਪਮਾਨ ਅੰਤਰ ਹਮੇਸ਼ਾ ±0.1℃ ਦੇ ਅੰਦਰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਇਕਸਾਰ ਤਾਪਮਾਨ ਵੰਡ ਅਸਮਾਨ ਥਰਮਲ ਤਣਾਅ ਕਾਰਨ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਵਿਕਾਰ ਤੋਂ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਬਚਦੀ ਹੈ, ਮਾਪ ਸੰਦਰਭ ਸਤਹ ਦੀ ਸਮਤਲਤਾ ਅਤੇ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਮੈਟਰੋਲੋਜੀ ਉਪਕਰਣਾਂ ਲਈ ਇੱਕ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਮਾਪ ਵਾਤਾਵਰਣ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ।
ਰਵਾਇਤੀ ਸਮੱਗਰੀ ਪਲੇਟਫਾਰਮਾਂ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ
ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਦੇ ਮਾਪੇ ਗਏ ਡੇਟਾ ਦੀ ਤੁਲਨਾ ਐਲੂਮੀਨੀਅਮ ਮਿਸ਼ਰਤ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹੋਏ ਉਸੇ ਕਿਸਮ ਦੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਮੀਟਰਿੰਗ ਉਪਕਰਣਾਂ ਨਾਲ ਕੀਤੀ ਗਈ ਸੀ, ਅਤੇ ਅੰਤਰ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਸਨ। ਇੱਕੋ ਤਾਪਮਾਨ ਤਬਦੀਲੀ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਦੇ ਤਹਿਤ, ਐਲੂਮੀਨੀਅਮ ਮਿਸ਼ਰਤ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਦਾ ਰੇਖਿਕ ਵਿਸਥਾਰ 2.5 ਨੈਨੋਮੀਟਰ ਜਿੰਨਾ ਉੱਚਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਨਾਲੋਂ ਅੱਠ ਗੁਣਾ ਵੱਧ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਦੌਰਾਨ, ਐਲੂਮੀਨੀਅਮ ਮਿਸ਼ਰਤ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਤਾਪਮਾਨ ਵੰਡ ਅਸਮਾਨ ਹੈ, ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਤਾਪਮਾਨ ਅੰਤਰ 0.8℃ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਦਾ ਹੈ, ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਸਪੱਸ਼ਟ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਿਗਾੜਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਮਾਪ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨੂੰ ਗੰਭੀਰਤਾ ਨਾਲ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ।
ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਮੈਟਰੋਲੋਜੀ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਸਟੀਕ ਦੁਨੀਆ ਵਿੱਚ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ, ਆਪਣੀ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਦੇ ਨਾਲ, ਮਾਪ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਵਿੱਚ ਮੁੱਖ ਆਧਾਰ ਬਣ ਗਏ ਹਨ। ਮਾਪਿਆ ਗਿਆ ਡੇਟਾ ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਦਾ ਜਵਾਬ ਦੇਣ ਵਿੱਚ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਦੇ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਨੂੰ ਮਜ਼ਬੂਤੀ ਨਾਲ ਸਾਬਤ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਉਦਯੋਗ ਲਈ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਤਕਨੀਕੀ ਸਹਾਇਤਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਜਿਵੇਂ-ਜਿਵੇਂ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵੱਲ ਵਧਦੀਆਂ ਹਨ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮਾਂ ਦਾ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਲਾਭ ਵਧਦਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਉਦਯੋਗ ਵਿੱਚ ਤਕਨੀਕੀ ਨਵੀਨਤਾ ਅਤੇ ਵਿਕਾਸ ਨੂੰ ਲਗਾਤਾਰ ਚਲਾਉਂਦਾ ਹੈ।