ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਵਿੱਚ, ਵੇਫਰ ਨਿਰੀਖਣ ਚਿੱਪ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਅਤੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਇੱਕ ਮੁੱਖ ਕੜੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਨਿਰੀਖਣ ਟੇਬਲ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਸਥਿਰਤਾ ਖੋਜ ਨਤੀਜਿਆਂ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਨਿਰਣਾਇਕ ਭੂਮਿਕਾ ਨਿਭਾਉਂਦੀ ਹੈ। ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸ ਆਪਣੀਆਂ ਵਿਲੱਖਣ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੇ ਨਾਲ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਵੇਫਰ ਨਿਰੀਖਣ ਟੇਬਲ ਲਈ ਆਦਰਸ਼ ਵਿਕਲਪ ਬਣ ਗਿਆ ਹੈ, ਤੁਹਾਡੇ ਲਈ ਬਹੁ-ਆਯਾਮੀ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ ਤੋਂ ਹੇਠ ਲਿਖੇ ਅਨੁਸਾਰ।
ਪਹਿਲਾਂ, ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਗਰੰਟੀ ਮਾਪ
1. ਅਤਿ-ਉੱਚ ਸਮਤਲਤਾ ਅਤੇ ਸਿੱਧੀਤਾ: ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸ ਨੂੰ ਉੱਨਤ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰੋਸੈਸ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਸਮਤਲਤਾ ±0.001mm/m ਜਾਂ ਇਸ ਤੋਂ ਵੀ ਵੱਧ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਸਿੱਧੀਤਾ ਵੀ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਹੈ। ਵੇਫਰ ਨਿਰੀਖਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲਾ ਪਲੇਨ ਵੇਫਰ ਲਈ ਸਥਿਰ ਸਹਾਇਤਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਨਿਰੀਖਣ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਜਾਂਚ ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਸਤਹ 'ਤੇ ਸੋਲਡਰ ਜੋੜਾਂ ਵਿਚਕਾਰ ਸਹੀ ਸੰਪਰਕ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
2. ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਦਾ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਗੁਣਾਂਕ: ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਪ੍ਰਤੀ ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਦੇ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਦਾ ਗੁਣਾਂਕ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਲਗਭਗ 5×10⁻⁶/℃। ਜਦੋਂ ਖੋਜ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਚੱਲ ਰਿਹਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਭਾਵੇਂ ਵਾਤਾਵਰਣ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਅਧਾਰ ਦਾ ਆਕਾਰ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਬਦਲਦਾ ਹੈ। ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਗਰਮੀਆਂ ਵਿੱਚ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਵਰਕਸ਼ਾਪ ਵਿੱਚ, ਆਮ ਧਾਤੂ ਅਧਾਰ ਖੋਜ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ ਵੇਫਰ ਅਤੇ ਖੋਜ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਸਾਪੇਖਿਕ ਸਥਿਤੀ ਨੂੰ ਬਦਲਣ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਖੋਜ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ; ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਅਧਾਰ ਖੋਜ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਸਥਿਰਤਾ ਬਣਾਈ ਰੱਖ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਖੋਜ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ ਵੇਫਰ ਅਤੇ ਖੋਜ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਸਾਪੇਖਿਕ ਸਥਿਤੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਖੋਜ ਲਈ ਇੱਕ ਸਥਿਰ ਵਾਤਾਵਰਣ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ।
ਦੂਜਾ, ਸਥਿਰਤਾ ਮਾਪ
1. ਸਥਿਰ ਬਣਤਰ ਅਤੇ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ: ਲੱਖਾਂ ਸਾਲਾਂ ਦੀਆਂ ਭੂ-ਵਿਗਿਆਨਕ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਦੀ ਅੰਦਰੂਨੀ ਬਣਤਰ ਸੰਘਣੀ ਅਤੇ ਇਕਸਾਰ ਹੈ। ਇੱਕ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਫੈਕਟਰੀ ਦੇ ਗੁੰਝਲਦਾਰ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ, ਪੈਰੀਫਿਰਲ ਉਪਕਰਣਾਂ ਅਤੇ ਘੁੰਮਦੇ ਕਰਮਚਾਰੀਆਂ ਦੇ ਸੰਚਾਲਨ ਦੁਆਰਾ ਪੈਦਾ ਹੋਣ ਵਾਲੀ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਅਧਾਰ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਘੱਟ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
2. ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ: ਹੋਰ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਵਿੱਚ ਉੱਚ ਕਠੋਰਤਾ, ਮਜ਼ਬੂਤ ਪਹਿਨਣ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਅਤੇ ਮੋਹਸ ਕਠੋਰਤਾ 6-7 ਤੱਕ ਪਹੁੰਚ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸ ਸਤਹ ਨੂੰ ਵਾਰ-ਵਾਰ ਵੇਫਰ ਲੋਡਿੰਗ, ਅਨਲੋਡਿੰਗ ਅਤੇ ਨਿਰੀਖਣ ਕਾਰਜਾਂ ਦੌਰਾਨ ਆਸਾਨੀ ਨਾਲ ਨਹੀਂ ਪਹਿਨਿਆ ਜਾਂਦਾ। ਡੇਟਾ ਅੰਕੜਿਆਂ ਦੀ ਅਸਲ ਵਰਤੋਂ ਦੇ ਅਨੁਸਾਰ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸ ਟੈਸਟਿੰਗ ਟੇਬਲ ਦੀ ਵਰਤੋਂ, 5000 ਘੰਟਿਆਂ ਬਾਅਦ ਨਿਰੰਤਰ ਸੰਚਾਲਨ, ਸਮਤਲਤਾ ਅਤੇ ਸਿੱਧੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨੂੰ ਅਜੇ ਵੀ ਸ਼ੁਰੂਆਤੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੇ 98% ਤੋਂ ਵੱਧ 'ਤੇ ਬਣਾਈ ਰੱਖਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਨਿਯਮਤ ਕੈਲੀਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਅਤੇ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਦੇ ਸਮੇਂ ਕਾਰਨ ਅਧਾਰ ਦੇ ਪਹਿਨਣ ਕਾਰਨ ਉਪਕਰਣਾਂ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਕਾਰੋਬਾਰੀ ਸੰਚਾਲਨ ਲਾਗਤਾਂ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਟੈਸਟਿੰਗ ਕੰਮ ਦੀ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਦੀ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ।
ਤੀਜਾ, ਸਾਫ਼ ਅਤੇ ਦਖਲ-ਵਿਰੋਧੀ ਪਹਿਲੂ
1. ਘੱਟ ਧੂੜ ਪੈਦਾ ਕਰਨਾ: ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਵਾਤਾਵਰਣ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਸਾਫ਼ ਹੋਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਸਮੱਗਰੀ ਖੁਦ ਸਥਿਰ ਹੈ ਅਤੇ ਧੂੜ ਦੇ ਕਣ ਪੈਦਾ ਕਰਨਾ ਆਸਾਨ ਨਹੀਂ ਹੈ। ਟੈਸਟ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਦੇ ਸੰਚਾਲਨ ਦੌਰਾਨ, ਬੇਸ ਦੁਆਰਾ ਪੈਦਾ ਹੋਣ ਵਾਲੀ ਧੂੜ ਨੂੰ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਿਤ ਕਰਨ ਤੋਂ ਬਚਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਧੂੜ ਦੇ ਕਣਾਂ ਕਾਰਨ ਸ਼ਾਰਟ ਸਰਕਟ ਅਤੇ ਓਪਨ ਸਰਕਟ ਦਾ ਜੋਖਮ ਘੱਟ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਧੂੜ-ਮੁਕਤ ਵਰਕਸ਼ਾਪ ਦੇ ਵੇਫਰ ਨਿਰੀਖਣ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸ ਨਿਰੀਖਣ ਟੇਬਲ ਦੇ ਆਲੇ ਦੁਆਲੇ ਧੂੜ ਦੀ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਨੂੰ ਹਮੇਸ਼ਾਂ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਪੱਧਰ ਤੱਕ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਦੀਆਂ ਸਖ਼ਤ ਸਫਾਈ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਦਾ ਹੈ।
2. ਕੋਈ ਚੁੰਬਕੀ ਦਖਲਅੰਦਾਜ਼ੀ ਨਹੀਂ: ਖੋਜ ਉਪਕਰਣ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਮੈਗਨੈਟਿਕ ਵਾਤਾਵਰਣ ਪ੍ਰਤੀ ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਇੱਕ ਗੈਰ-ਚੁੰਬਕੀ ਸਮੱਗਰੀ ਹੈ, ਜੋ ਖੋਜ ਉਪਕਰਣ ਦੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਸਿਗਨਲ ਵਿੱਚ ਦਖਲ ਨਹੀਂ ਦੇਵੇਗੀ। ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਬੀਮ ਖੋਜ ਅਤੇ ਹੋਰ ਟੈਸਟਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀਆਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਵਿੱਚ ਜਿਨ੍ਹਾਂ ਨੂੰ ਬਹੁਤ ਉੱਚ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਮੈਗਨੈਟਿਕ ਵਾਤਾਵਰਣ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਅਧਾਰ ਖੋਜ ਉਪਕਰਣ ਦੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰਾਨਿਕ ਸਿਗਨਲ ਦੇ ਸਥਿਰ ਪ੍ਰਸਾਰਣ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਟੈਸਟ ਦੇ ਨਤੀਜਿਆਂ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਜਦੋਂ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਬਿਜਲੀ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਲਈ ਟੈਸਟ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਗੈਰ-ਚੁੰਬਕੀ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਅਧਾਰ ਖੋਜ ਮੌਜੂਦਾ ਅਤੇ ਵੋਲਟੇਜ ਸਿਗਨਲਾਂ ਵਿੱਚ ਦਖਲਅੰਦਾਜ਼ੀ ਤੋਂ ਬਚਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਜੋ ਖੋਜ ਡੇਟਾ ਸੱਚਮੁੱਚ ਵੇਫਰ ਬਿਜਲੀ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਨੂੰ ਦਰਸਾਉਂਦਾ ਹੈ।
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਮਾਰਚ-31-2025