ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਦੇ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ, ਵੇਫਰ ਨਿਰੀਖਣ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਚਿਪਸ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਅਤੇ ਉਪਜ ਨੂੰ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਕੋਰ ਖੋਜ ਭਾਗਾਂ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਨ ਵਾਲੀ ਨੀਂਹ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ, ਉਪਕਰਣ ਅਧਾਰ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਅਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਦੇ ਸੰਚਾਲਨ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਭੂਮਿਕਾ ਨਿਭਾਉਂਦੀ ਹੈ। ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਅਤੇ ਕਾਸਟ ਆਇਰਨ ਵੇਫਰ ਨਿਰੀਖਣ ਉਪਕਰਣਾਂ ਲਈ ਦੋ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੇ ਜਾਂਦੇ ਅਧਾਰ ਸਮੱਗਰੀ ਹਨ। 10 ਸਾਲਾਂ ਦੇ ਤੁਲਨਾਤਮਕ ਅਧਿਐਨ ਨੇ ਅਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ ਦੇ ਮਾਮਲੇ ਵਿੱਚ ਉਨ੍ਹਾਂ ਵਿਚਕਾਰ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਅੰਤਰਾਂ ਦਾ ਖੁਲਾਸਾ ਕੀਤਾ ਹੈ, ਜੋ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਚੋਣ ਲਈ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਸੰਦਰਭ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੇ ਹਨ।
ਪ੍ਰਯੋਗਾਤਮਕ ਪਿਛੋਕੜ ਅਤੇ ਡਿਜ਼ਾਈਨ
ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਉਤਪਾਦਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਖੋਜ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਲਈ ਬਹੁਤ ਉੱਚ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ। ਇੱਕ ਮਾਈਕ੍ਰੋਮੀਟਰ-ਪੱਧਰ ਦਾ ਅਯਾਮੀ ਭਟਕਣਾ ਵੀ ਚਿੱਪ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਵਿੱਚ ਗਿਰਾਵਟ ਜਾਂ ਸਕ੍ਰੈਪਿੰਗ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਦੌਰਾਨ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਅਤੇ ਕਾਸਟ ਆਇਰਨ ਦੀ ਅਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ ਦੀ ਪੜਚੋਲ ਕਰਨ ਲਈ, ਖੋਜ ਟੀਮ ਨੇ ਪ੍ਰਯੋਗ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ ਜੋ ਅਸਲ ਕੰਮ ਕਰਨ ਵਾਲੇ ਵਾਤਾਵਰਣਾਂ ਦੀ ਨਕਲ ਕਰਦੇ ਸਨ। ਇੱਕੋ ਨਿਰਧਾਰਨ ਦੇ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਅਤੇ ਕਾਸਟ ਆਇਰਨ ਦੇ ਨਮੂਨਿਆਂ ਨੂੰ ਚੁਣਿਆ ਗਿਆ ਅਤੇ ਇੱਕ ਵਾਤਾਵਰਣ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਰੱਖਿਆ ਗਿਆ ਜਿੱਥੇ ਤਾਪਮਾਨ 15℃ ਤੋਂ 35℃ ਤੱਕ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਕਰਦਾ ਸੀ ਅਤੇ ਨਮੀ 30% ਤੋਂ 70% RH ਤੱਕ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਕਰਦੀ ਸੀ। ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਸੰਚਾਲਨ ਦੌਰਾਨ ਮਕੈਨੀਕਲ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਨੂੰ ਇੱਕ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਟੇਬਲ ਰਾਹੀਂ ਸਿਮੂਲੇਟ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ। ਨਮੂਨਿਆਂ ਦੇ ਮੁੱਖ ਮਾਪਾਂ ਨੂੰ ਹਰ ਤਿਮਾਹੀ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਲੇਜ਼ਰ ਇੰਟਰਫੇਰੋਮੀਟਰ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਕੇ ਮਾਪਿਆ ਗਿਆ ਸੀ, ਅਤੇ ਡੇਟਾ ਨੂੰ 10 ਸਾਲਾਂ ਲਈ ਲਗਾਤਾਰ ਰਿਕਾਰਡ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ।
ਪ੍ਰਯੋਗਾਤਮਕ ਨਤੀਜਾ: ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਦਾ ਪੂਰਾ ਫਾਇਦਾ
ਦਸ ਸਾਲਾਂ ਦੇ ਪ੍ਰਯੋਗਾਤਮਕ ਡੇਟਾ ਦਰਸਾਉਂਦੇ ਹਨ ਕਿ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਸਬਸਟਰੇਟ ਹੈਰਾਨੀਜਨਕ ਸਥਿਰਤਾ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਇਸਦਾ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਦਾ ਗੁਣਾਂਕ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਹੈ, ਔਸਤਨ ਸਿਰਫ 4.6×10⁻⁶/℃ ਹੈ। ਭਾਰੀ ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਦੇ ਤਹਿਤ, ਅਯਾਮੀ ਭਟਕਣਾ ਨੂੰ ਹਮੇਸ਼ਾਂ ±0.001mm ਦੇ ਅੰਦਰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਨਮੀ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਦੇ ਮੱਦੇਨਜ਼ਰ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਦੀ ਸੰਘਣੀ ਬਣਤਰ ਇਸਨੂੰ ਲਗਭਗ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਨਹੀਂ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਕੋਈ ਮਾਪਣਯੋਗ ਅਯਾਮੀ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਨਹੀਂ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ। ਇੱਕ ਮਕੈਨੀਕਲ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਦੀਆਂ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਡੈਂਪਿੰਗ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਊਰਜਾ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਸੋਖ ਲੈਂਦੀਆਂ ਹਨ, ਅਤੇ ਅਯਾਮੀ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਬਹੁਤ ਛੋਟਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।
ਇਸਦੇ ਉਲਟ, ਕਾਸਟ ਆਇਰਨ ਸਬਸਟਰੇਟ ਲਈ, ਇਸਦਾ ਔਸਤ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਗੁਣਾਂਕ 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ 10 ਸਾਲਾਂ ਦੇ ਅੰਦਰ ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਕਾਰਨ ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਅਯਾਮੀ ਭਟਕਣਾ ±0.05mm ਹੈ। ਨਮੀ ਵਾਲੇ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ, ਕਾਸਟ ਆਇਰਨ ਜੰਗਾਲ ਅਤੇ ਖੋਰ ਦਾ ਸ਼ਿਕਾਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਕੁਝ ਨਮੂਨੇ ਸਥਾਨਕ ਵਿਗਾੜ ਦਿਖਾਉਂਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਆਯਾਮੀ ਭਟਕਣਾ ਹੋਰ ਵੀ ਵਧ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਮਕੈਨੀਕਲ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਦੀ ਕਿਰਿਆ ਦੇ ਤਹਿਤ, ਕਾਸਟ ਆਇਰਨ ਵਿੱਚ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਡੈਂਪਿੰਗ ਦੀ ਮਾੜੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਇਸਦਾ ਆਕਾਰ ਅਕਸਰ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਕਰਦਾ ਰਹਿੰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਵੇਫਰ ਨਿਰੀਖਣ ਦੀਆਂ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨਾ ਮੁਸ਼ਕਲ ਹੋ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਸਥਿਰਤਾ ਵਿੱਚ ਅੰਤਰ ਦਾ ਜ਼ਰੂਰੀ ਕਾਰਨ
ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਭੂ-ਵਿਗਿਆਨਕ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਰਾਹੀਂ ਕਰੋੜਾਂ ਸਾਲਾਂ ਵਿੱਚ ਬਣਿਆ ਸੀ। ਇਸਦੀ ਅੰਦਰੂਨੀ ਬਣਤਰ ਸੰਘਣੀ ਅਤੇ ਇਕਸਾਰ ਹੈ, ਅਤੇ ਖਣਿਜ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਸਥਿਰਤਾ ਨਾਲ ਵਿਵਸਥਿਤ ਹਨ, ਜੋ ਕੁਦਰਤ ਦੁਆਰਾ ਅੰਦਰੂਨੀ ਤਣਾਅ ਨੂੰ ਖਤਮ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਇਹ ਇਸਨੂੰ ਬਾਹਰੀ ਕਾਰਕਾਂ ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਤਾਪਮਾਨ, ਨਮੀ ਅਤੇ ਵਾਈਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਪ੍ਰਤੀ ਬਹੁਤ ਹੀ ਅਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਕਾਸਟ ਆਇਰਨ ਕਾਸਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੁਆਰਾ ਬਣਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਇਸਦੇ ਅੰਦਰ ਪੋਰਸ ਅਤੇ ਰੇਤ ਦੇ ਛੇਕ ਵਰਗੇ ਸੂਖਮ ਨੁਕਸ ਹੁੰਦੇ ਹਨ। ਇਸ ਦੌਰਾਨ, ਕਾਸਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ ਪੈਦਾ ਹੋਣ ਵਾਲਾ ਬਕਾਇਆ ਤਣਾਅ ਬਾਹਰੀ ਵਾਤਾਵਰਣ ਦੀ ਉਤੇਜਨਾ ਦੇ ਅਧੀਨ ਅਯਾਮੀ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣਦਾ ਹੈ। ਕਾਸਟ ਆਇਰਨ ਦੇ ਧਾਤੂ ਗੁਣ ਇਸਨੂੰ ਨਮੀ ਦੇ ਕਾਰਨ ਜੰਗਾਲ ਲੱਗਣ, ਢਾਂਚਾਗਤ ਨੁਕਸਾਨ ਨੂੰ ਤੇਜ਼ ਕਰਨ ਅਤੇ ਅਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਘਟਾਉਣ ਦਾ ਖ਼ਤਰਾ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ।
ਵੇਫਰ ਨਿਰੀਖਣ ਉਪਕਰਣਾਂ 'ਤੇ ਪ੍ਰਭਾਵ
ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਆਧਾਰਿਤ ਵੇਫਰ ਨਿਰੀਖਣ ਉਪਕਰਣ, ਇਸਦੇ ਸਥਿਰ ਅਯਾਮੀ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਦੇ ਨਾਲ, ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾ ਸਕਦਾ ਹੈ ਕਿ ਨਿਰੀਖਣ ਪ੍ਰਣਾਲੀ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਲਈ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਬਣਾਈ ਰੱਖੇ, ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੇ ਵਹਾਅ ਕਾਰਨ ਗਲਤਫਹਿਮੀ ਅਤੇ ਖੁੰਝੀ ਹੋਈ ਖੋਜ ਨੂੰ ਘਟਾਏ, ਅਤੇ ਉਤਪਾਦ ਉਪਜ ਵਿੱਚ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਸੁਧਾਰ ਕਰੇ। ਇਸ ਦੌਰਾਨ, ਘੱਟ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਦੀਆਂ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਪੂਰੀ ਜੀਵਨ ਚੱਕਰ ਦੀ ਲਾਗਤ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦੀਆਂ ਹਨ। ਕੱਚੇ ਲੋਹੇ ਦੇ ਸਬਸਟਰੇਟਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨ ਵਾਲੇ ਉਪਕਰਣਾਂ, ਮਾੜੀ ਅਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ ਦੇ ਕਾਰਨ, ਨੂੰ ਵਾਰ-ਵਾਰ ਕੈਲੀਬ੍ਰੇਸ਼ਨ ਅਤੇ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਨਾ ਸਿਰਫ਼ ਸੰਚਾਲਨ ਲਾਗਤਾਂ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ ਬਲਕਿ ਨਾਕਾਫ਼ੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੇ ਕਾਰਨ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਤਪਾਦਨ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨੂੰ ਵੀ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਸੰਭਾਵੀ ਆਰਥਿਕ ਨੁਕਸਾਨ ਹੋ ਸਕਦਾ ਹੈ।
ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਦਯੋਗ ਦੇ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਬਿਹਤਰ ਗੁਣਵੱਤਾ ਦੇ ਰੁਝਾਨ ਦੇ ਤਹਿਤ, ਵੇਫਰ ਨਿਰੀਖਣ ਉਪਕਰਣਾਂ ਲਈ ਅਧਾਰ ਸਮੱਗਰੀ ਵਜੋਂ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਦੀ ਚੋਣ ਕਰਨਾ ਬਿਨਾਂ ਸ਼ੱਕ ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਅਤੇ ਉੱਦਮਾਂ ਦੀ ਮੁਕਾਬਲੇਬਾਜ਼ੀ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣ ਲਈ ਇੱਕ ਬੁੱਧੀਮਾਨ ਕਦਮ ਹੈ।
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਮਈ-14-2025