ਕੀ ਵੇਫਰ ਸਕੈਨਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਗਰਮੀ ਕਾਰਨ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਮਸ਼ੀਨ ਦਾ ਅਧਾਰ ਫੈਲ ਜਾਵੇਗਾ?

ਚਿੱਪ ਨਿਰਮਾਣ ਦੇ ਮੁੱਖ ਲਿੰਕ - ਵੇਫਰ ਸਕੈਨਿੰਗ ਵਿੱਚ, ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਚਿੱਪ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨੂੰ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹਿੱਸੇ ਵਜੋਂ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਮਸ਼ੀਨ ਬੇਸ ਦੀ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਸਮੱਸਿਆ ਨੇ ਬਹੁਤ ਧਿਆਨ ਖਿੱਚਿਆ ਹੈ।

ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਦੇ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਦਾ ਗੁਣਾਂਕ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ 4 ਅਤੇ 8×10⁻⁶/℃ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਧਾਤਾਂ ਅਤੇ ਸੰਗਮਰਮਰ ਨਾਲੋਂ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਇਸਦਾ ਮਤਲਬ ਹੈ ਕਿ ਜਦੋਂ ਤਾਪਮਾਨ ਬਦਲਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਇਸਦਾ ਆਕਾਰ ਮੁਕਾਬਲਤਨ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਬਦਲਦਾ ਹੈ। ਹਾਲਾਂਕਿ, ਇਹ ਧਿਆਨ ਵਿੱਚ ਰੱਖਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ ਕਿ ਘੱਟ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਦਾ ਮਤਲਬ ਇਹ ਨਹੀਂ ਹੈ ਕਿ ਕੋਈ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਨਹੀਂ ਹੈ। ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਤਾਪਮਾਨ ਦੇ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਦੇ ਤਹਿਤ, ਥੋੜ੍ਹਾ ਜਿਹਾ ਵਿਸਥਾਰ ਵੀ ਵੇਫਰ ਸਕੈਨਿੰਗ ਦੀ ਨੈਨੋਸਕੇਲ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ।

ਵੇਫਰ ਸਕੈਨਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ, ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਦੇ ਵਾਪਰਨ ਦੇ ਕਈ ਕਾਰਨ ਹਨ। ਵਰਕਸ਼ਾਪ ਵਿੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ, ਉਪਕਰਣਾਂ ਦੇ ਹਿੱਸਿਆਂ ਦੇ ਸੰਚਾਲਨ ਦੁਆਰਾ ਪੈਦਾ ਹੋਈ ਗਰਮੀ, ਅਤੇ ਲੇਜ਼ਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਦੁਆਰਾ ਲਿਆਂਦੇ ਗਏ ਤੁਰੰਤ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ, ਇਹ ਸਾਰੇ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਅਧਾਰ ਨੂੰ "ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਕਾਰਨ ਫੈਲਣ ਅਤੇ ਸੁੰਗੜਨ" ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣਨਗੇ। ਇੱਕ ਵਾਰ ਜਦੋਂ ਅਧਾਰ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਵਿੱਚੋਂ ਲੰਘਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਗਾਈਡ ਰੇਲ ਦੀ ਸਿੱਧੀਤਾ ਅਤੇ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਦੀ ਸਮਤਲਤਾ ਭਟਕ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਵੇਫਰ ਟੇਬਲ ਦੀ ਗਲਤ ਗਤੀ ਟ੍ਰੈਜੈਕਟਰੀ ਹੋ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਸਹਾਇਕ ਆਪਟੀਕਲ ਹਿੱਸੇ ਵੀ ਬਦਲ ਜਾਣਗੇ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਸਕੈਨਿੰਗ ਬੀਮ "ਭਟਕ ਜਾਵੇਗੀ"। ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਤੱਕ ਲਗਾਤਾਰ ਕੰਮ ਕਰਨ ਨਾਲ ਗਲਤੀਆਂ ਵੀ ਇਕੱਠੀਆਂ ਹੋਣਗੀਆਂ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਬਦਤਰ ਅਤੇ ਬਦਤਰ ਹੋ ਜਾਵੇਗੀ।

ਪਰ ਚਿੰਤਾ ਨਾ ਕਰੋ। ਲੋਕਾਂ ਕੋਲ ਪਹਿਲਾਂ ਹੀ ਹੱਲ ਹਨ। ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਮਾਮਲੇ ਵਿੱਚ, ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਦੇ ਘੱਟ ਗੁਣਾਂਕ ਵਾਲੀਆਂ ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਨਾੜੀਆਂ ਨੂੰ ਚੁਣਿਆ ਜਾਵੇਗਾ ਅਤੇ ਉਮਰ ਦੇ ਇਲਾਜ ਦੇ ਅਧੀਨ ਕੀਤਾ ਜਾਵੇਗਾ। ਤਾਪਮਾਨ ਨਿਯੰਤਰਣ ਦੇ ਮਾਮਲੇ ਵਿੱਚ, ਵਰਕਸ਼ਾਪ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ 23±0.5℃ ਜਾਂ ਇਸ ਤੋਂ ਵੀ ਘੱਟ 'ਤੇ ਸਹੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਅਧਾਰ ਲਈ ਇੱਕ ਸਰਗਰਮ ਗਰਮੀ ਡਿਸਸੀਪੇਸ਼ਨ ਡਿਵਾਈਸ ਵੀ ਤਿਆਰ ਕੀਤੀ ਜਾਵੇਗੀ। ਢਾਂਚਾਗਤ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਦੇ ਮਾਮਲੇ ਵਿੱਚ, ਸਮਮਿਤੀ ਢਾਂਚੇ ਅਤੇ ਲਚਕਦਾਰ ਸਹਾਇਤਾ ਅਪਣਾਈ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਤਾਪਮਾਨ ਸੈਂਸਰਾਂ ਦੁਆਰਾ ਅਸਲ-ਸਮੇਂ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਥਰਮਲ ਵਿਗਾੜ ਕਾਰਨ ਹੋਣ ਵਾਲੀਆਂ ਗਲਤੀਆਂ ਨੂੰ ਐਲਗੋਰਿਦਮ ਦੁਆਰਾ ਗਤੀਸ਼ੀਲ ਤੌਰ 'ਤੇ ਠੀਕ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

ASML ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਵਰਗੇ ਉੱਚ-ਅੰਤ ਵਾਲੇ ਉਪਕਰਣ, ਇਹਨਾਂ ਤਰੀਕਿਆਂ ਰਾਹੀਂ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸ ਦੇ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਪ੍ਰਭਾਵ ਨੂੰ ਬਹੁਤ ਛੋਟੀ ਸੀਮਾ ਦੇ ਅੰਦਰ ਰੱਖਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਵੇਫਰ ਸਕੈਨਿੰਗ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨੈਨੋਮੀਟਰ ਪੱਧਰ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਇਸ ਲਈ, ਜਿੰਨਾ ਚਿਰ ਇਸਨੂੰ ਸਹੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਗ੍ਰੇਨਾਈਟ ਬੇਸ ਵੇਫਰ ਸਕੈਨਿੰਗ ਉਪਕਰਣਾਂ ਲਈ ਇੱਕ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਵਿਕਲਪ ਬਣਿਆ ਰਹਿੰਦਾ ਹੈ।